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晶圓清洗是半導(dǎo)體制造中重復(fù)次數(shù)最多的工藝,需在多個(gè)環(huán)節(jié)(如光刻、離子注入、化學(xué)機(jī)械拋光后)使用超純水去除表面殘留的微粒、有機(jī)物和金屬離子。
在水處理領(lǐng)域,全膜法與半膜法作為兩種重要的處理工藝,因其各自獨(dú)特的技術(shù)特點(diǎn)和應(yīng)用范圍,受到了廣泛的關(guān)注。本文將詳細(xì)探討全膜法(疊片過濾器+超濾+反滲透+EDI+拋光混床)與半膜法(石英砂過濾器+活性炭過濾器+反滲透+EDI+拋光混床)之間的區(qū)別和特點(diǎn)。
2025 年 3 月 5 - 7 日,第九屆廣東國際水處理技術(shù)與設(shè)備展覽會(huì)在廣州保利世貿(mào)展覽館盛大舉行。
在7納米及更先進(jìn)的半導(dǎo)體制程中,超純水(UPW)的純度直接影響到芯片良率和性能。其處理工藝需通過多級(jí)精密步驟去除各類雜質(zhì),確保水質(zhì)達(dá)到近乎理論極限的純凈度。以下是完整的處理流程及關(guān)鍵技術(shù)解析:
從2024年12月1日起,威立雅將對E-Cell電去離子模塊部分型號(hào)進(jìn)行變更,以此強(qiáng)化“MK-”系列的命名傳統(tǒng)。請注意,這個(gè)變更僅僅是型號(hào)名稱的變更,對產(chǎn)品價(jià)格、貨期及產(chǎn)品性能等沒有任何影響,所有產(chǎn)品的性能參數(shù)及功能均保持不變。
IONPURE膜堆為什么又叫西門子EDI膜堆?本文將為您講述西門子EDI膜堆的發(fā)展歷程。
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濾袋破裂常見的原因。
盡管樹脂是固體顆粒,但其功能性(處理能力)和操作場景(裝填體積)更依賴體積而非重量。用升衡量不僅簡化了工程設(shè)計(jì)、性能計(jì)算和實(shí)際應(yīng)用,還規(guī)避了密度波動(dòng)帶來的不確定性,因此成為行業(yè)通用做法。
Lewatit? UltraPure 1292 MD 是一種專為超純水處理設(shè)計(jì)的混合床離子交換樹脂,由強(qiáng)酸性陽離子交換樹脂(H+型)和強(qiáng)堿性陰離子交換樹脂(OH-型)按當(dāng)量比1:1預(yù)混合而成。
起泡點(diǎn)測試是基于毛細(xì)管壓力物理現(xiàn)象的一種試驗(yàn),通過測量濾芯在濕潤狀態(tài)下能承受的最大氣體壓力(即氣泡點(diǎn)壓力)來評(píng)估濾芯的孔徑大小和分布。當(dāng)施加在濾芯上的氣體壓力逐漸增加至某一臨界值時(shí),濾芯中的液體被擠出,形成氣泡,此時(shí)的壓力即為起泡點(diǎn)壓力。
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